半導体試験装置

半導体試験装置（はんどうたいしけんそうち）とは、集積回路（半導体デバイス）の製造工程において、性能等を試験し良品と不良品の選別を行う装置を指す。

半導体試験装置の種類 テスタ 半導体デバイスに電気を流すことで、正常に動作するかを試験する装置。ATE（Automated Test Equipment）とも呼ばれる。検査対象（DUT, Device Under Test）の集積回路設計時に作成したテストパターンを元に、入力信号を生成し出力信号を期待値と比較する。ウェハーのレベルでの試験（前工程試験、プローブテスト）、パッケージング後の試験（後工程試験）の2回の試験が行われる。装置の価格が数千万円程度と高価であり、テスト時間（主にテストパターン長に依存）が長いと半導体製品の価格に影響を与える。 ロジックテスタ メモリテスタ アナログテスタ プローバ ウェハーレベルでの試験の際、電気を流すためにウェハーに針（プローブ）を当てるための装置。テスタと接続して用いられる。DUTのPADの位置にプローブを配置したプローブカードをDUT毎に交換して用いる。 ハンドラ パッケージング後の試験の際、テスタにデバイスを供給するための装置。

半導体試験装置の主なメーカー テスタ 日本 アドバンテスト シバソク 横河テストソリューションズ株式会社 四国計測工業 テセック イーアールディー スパンドニクス アメリカ ケースレー・インスツルメンツ Verigy Teradyne Credence LTX ヨーロッパ

プローバ 日本 東京エレクトロン 東京精密 ナガセテクノエンジニアリング

ハンドラ 日本 アドバンテスト セイコーエプソン 東北精機 ヤマハ 新東工業 SYNAX テセック アメリカ Delta Design 韓国 Mirae TechWing